詳細(xì)說(shuō)明
DLH系列
高真空環(huán)境應(yīng)用,最高可達(dá)1x10-6 Torr
搭配真空平板線(xiàn)
可搭配鐵心式或無(wú)鐵心式馬達(dá)
整合高精度轉(zhuǎn)矩馬達(dá)
XY定位搭配高精度角度補(bǔ)償
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