詳細(xì)說明
平面伺服馬達(dá)藉由空氣軸承並整合位置感測(cè)器,可於單一定子上放置多顆動(dòng)子在X-Y平面上移動(dòng)。亦可倒吊操作。
X-Y平臺(tái)
整合位置感測(cè)器可作閉迴路控制
採(cǎi)用空氣軸承故無無磨耗
磁場(chǎng)不外漏,不影響周圍設(shè)備
無溫升問題,系統(tǒng)精度相對(duì)穩(wěn)定
可倒吊安裝
定子大小(行程)可依客戶需求客製
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